檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="旋轉式氣體蓮蓬頭" and ckeyword.raw="熱壁式化學氣相沉積法" and ckeyword.raw="熱壁式化學氣相沉積法"
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本論文分為兩個部分,第一部分目的在探討使用共濺鍍氣相沉積法製備碳化矽薄膜。不同於高溫(1600℃)化學氣相沉積法製備碳化矽薄膜,本研究之重點在於利用矽合金靶材和碳靶在相對低溫的下以不同射頻電漿製程參…