檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學氣相沈積" and ckeyword.raw="奈米碳管" and ckeyword.raw="奈米碳管"
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本實驗利用熱化學氣相沉積法成長圖形化的奈米碳管束。利用微影製程在矽基板上製作出不同半徑與不同間距的圖形化。改變不同的成長時間來控制奈米碳管束的高度。鐵當做觸媒金屬層,鋁為緩衝層。成長碳管的最佳條件為…