檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="複線式鑽石線鋸"
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單晶碳化矽因材料特性上擁有多項優點,於功率元件市場中備受重視,然而其高硬度及耐化學性質造成基板製造之困難,本研究分別從磨料移除材料和線網運動觀點分析複線式鑽石線鋸加工製程(Multi-wire di…
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單晶碳化矽(SiC)為化合物半導體材料之一,其高導熱率、寬能隙特性使其廣泛應用於高功率及高電壓能量轉換裝置元件,然而碳化矽極高的硬脆性使晶圓加工製程面臨挑戰。本研究針對實驗室研發之選擇性電泳沉積(S…