檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="體聲波元件"
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本論文使用磁控式濺鍍法控制鉑金屬薄膜,利用濺鍍條件控制鉑電極的方向性做為氮化鋁薄膜成長的底電極基材。實驗的第一個部分是以矽基材與玻璃基材使用不同比例的氬氣與氮氣反應式濺鍍出氮化鋁薄膜。探討氮氣比例對…