檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林其禹" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="準分子雷射"
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目前多晶矽薄膜橫向長晶製程參數研究,大多採用嘗試錯誤的方法,透過實驗室實際製程來對每一個參數進行操控,並以此來瞭解各個參數對長晶的影響。然而橫向長晶的影響參數眾多,因此這樣的方法耗力而且耗時。由於多…