本論文探討引進工業4.0的概念與技術，對半導體製造業未來發展的影響。半導體業在摩爾定律已達物理極限的挑戰之下，繼續追求先進製程研發與大尺寸晶圓廠的建立，其所帶來繁複生產流程、生產成本與低良率都將對半導體製造業者生產營運造成影響。本論文藉由次級資料分析方式，針對半導體工業先進技術與未來趨勢所面臨的瓶頸做統整，並分析工業4.0概念所強調的智慧工廠概念，包含大數據、物聯網與智慧化生產，此等相關技術對製造業生產效率之影響。工業4.0的生產模式可以解決先進製程的困擾，同時工業4.0技術所帶來的硬體需求將大量使用積體電路元件，為半導體製造業帶來爆發性的成長，故半導體製造業宜積極引入智慧化生產技術，且成為規格制定的先驅者，才能在激烈競爭中脫穎而出。本研究據此提出半導體製造業之智慧工廠架構以及其與工業4.0成長關聯之討論。

This study explored the improvement and future development to semiconductor industry when the concept and technology of Industry 4.0 are introduced. Semiconductor industry faced the challenge as Moore’s Law reached its limit and kept developing advanced process and building large-size wafers fabrication. It brings complicated production process, production cost and low yield rate which result in operation impact to semiconductor manufacturers. This study used secondary sources to generalize advanced technology of semiconductor industry and future challenge. In addition, this study analyzed the concept of smart factory that Industry 4.0 puts emphasis on, including big data, Internet of Things and smart manufacturing, and how these related technologies influence manufacturers’ production efficiency. The production model of Industry 4.0 is able to solve the dilemma of advanced process. In the meantime, the hardware required by Industry 4.0 technology uses a large number of integrated circuit, so it brings dramatically growth to semiconductor industry. As a result, semiconductor manufacturer should aggressively introduce smart manufacturing. Further, it becomes the pioneer of standard development so that it can stand out from the competition.

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