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研究生: 許世民
Shih-Min Hsu
論文名稱: 化學機械研磨終點檢測之專利創研機制之研究
Study of Patent Innovation Mechanism for End Point Detection of Chemical and Mechanical Polishing
指導教授: 蔡明忠
Ming-Jong Tsai
口試委員: 江茂雄
Mao-Hsiung Chiang
詹朝基
Chao-Chi Chan
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工程學院 - 自動化及控制研究所
Graduate Institute of Automation and Control
論文出版年: 2007
畢業學年度: 95
語文別: 中文
論文頁數: 97
中文關鍵詞: 化學機械研磨終點檢測本體論技術功效矩陣TRIZ專利創研機制
外文關鍵詞: Chemical and Mechanical Polishing, End Point Detection, Ontology, Technical Efficiency Matrix, TRIZ, Patent Innovation Mechanism
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  • 本論文主要在研究一個以化學機械研磨終點檢測之專利創研機制,以輔助使用者在終點檢測達到專利新構想產生為目的。本研究分析110篇終點檢測專利,利用本體論概念建立化學機械研磨終點檢測之本體知識,再建立終點檢測之技術功效矩陣,利用此技術功效可讓使用者了解此領域在專利上的技術與功效的分佈,有助於研發人員在創新新構想的方向。且依據技術功效表中的功效,建立屬於終點檢測之TRIZ矛盾矩陣,利用此矩陣可以讓此領域的使用者,在創研上更得心應手。
    本研究並使用JAVA程式與DB2資料庫建立本創研機制之系統化驗證平台,內容包括系統描述與分析、問題描述、技術矛盾、解決方法五步驟。然後以三個問題為方向,利用此創研平台去進行解決問題,確實可以得到三種可能的新構想,利用此創研機制可以幫助使用者在化學機械研磨終點檢測領域上,達到問題的解決與專利上的創新。


    This paper is to develop a patent innovation mechanism for end point detection of chemical and mechanical polishing. It can help users to create innovated patents in the field of end point detection. This research analyzes 110 related patents. The ontology method is used to establish ontology knowledge and technical efficiency matrix for end point detection of chemical and mechanical polishing. A TRIZ contradiction matrix for end point detection is also built to help users to obtain a new conception direction.
    This research used JAVA and DB2 to establish the demonstration system. The system included system analysis, question description, technical contradiction, solution guide. Three different questions can give to evalue the system. Three new conception were obtained shows that the mechanism is useful to help the user to slove related question.

    目 錄 中文摘要 I 英文摘要 II 誌 謝 III 目 錄 IV 圖表索引 VII 第一章 緒論 1 1-1 研究背景與動機 1 1-2 研究主題與目的 1 1-3 研究範圍 2 1-4 論文架構 4 第二章 文獻探討與相關理論 6 2-1 化學機械研磨之終點檢測簡介 6 2-1-1 晶圓研磨介紹 6 2-1-2 化學機械研磨介紹 8 2-1-3 化學機械研磨之終點檢測介紹 10 2-1-4 終點檢測之重要性 15 2-2 本體論簡介 16 2-2-1 本體論的定義 16 2-2-2 本體論的建置工具 16 2-3 TRIZ簡介 18 2-3-1 TRIZ的相關應用文獻 19 2-3-2 TRIZ的定義 20 2-3-3 TRIZ的技術矛盾與物理矛盾 20 2-3-4 39工程參數與40發明原則 22 第三章 CMP終點檢測之本體論應用 23 3-1 專利分析 23 3-1-1 專利分析摘要 23 3-1-2 專利分析地圖 26 3-2 CMP終點檢測之本體論應用 29 3-2-1 CMP終點檢測之本體論 29 3-2-2 CMP終點檢測之本體論建立 30 第四章 技術功效及TRIZ矛盾矩陣創研技術 36 4-1 技術功效矩陣表 36 4-2 CMP終點檢測之技術功效矩陣 37 4-3 CMP終點檢測之TRIZ矛盾矩陣 41 4-3-1應用TRIZ發明原則進行專利分析 41 4-3-2 CMP終點檢測之TRIZ矛盾矩陣表 45 第五章 創研流程系統化與應用 48 5-1 創研系統流程 48 5-1-1 創研系統之系統描述與分析 50 5-1-2 創研系統之問題描述 53 5-1-3 創研系統之技術矛盾 57 5-1-4 創研系統之解決方法 58 5-1-5 創研系統之新構想產出 61 5-2 創研系統之應用 63 第六章 結論與未來研究方向 69 6-1 結論 69 6-2 未來研究方向 70 參考文獻 71 附 錄 75 附錄A . TRIZ的矛盾衝突矩陣表 75 附錄B . 終點檢測之專利主要技術功效表 78 附錄C . TRIZ之三十九個工程參數 88 附錄D . TRIZ之四十個發明原則 91 附錄E . 專利封面INID碼 95

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