自動化非破壞式微型鑽針心厚量測系統之改良開發研究

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研究生：	邱羿誠 Yi-Cheng Chiu
論文名稱：	自動化非破壞式微型鑽針心厚量測系統之改良開發研究 Research on the Improvement of the Automatic Nondestructive Web Thickness Measuring System for Microdrills
指導教授：	修芳仲 Fang-Jung Shiou
口試委員:	鄧昭瑞 Geo-Ry Tang 謝宏麟 Hung-Lin Hsieh
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	工程學院 - 機械工程系 Department of Mechanical Engineering
論文出版年：	2014
畢業學年度：	102
語文別：	中文
論文頁數：	76
中文關鍵詞：	心厚、微型鑽針、非破壞式心厚量測、自動上下料、最小平方圓
外文關鍵詞：	Nondestructive Web Thickness Measurment, Automatic Loading and Unloading, Microdrills, Least Squares Circle, Web Thickness
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本研究目的為提高微型鑽針之檢測效率，開發一套改良式非破壞式心厚量測系統。新系統特色包括自動化上下料、截面定位、偏擺量之補正及心厚量測方法等項目。檢測機台裝設自動上下料機構可自動替換待測鑽針，減少批次量測鑽針時人工置換所花費時間。其次，研究增加截面定位基準，以鑽針底部沿軸線往鑽尖方向一固定距離L為參考基準，之後所有的斷面位置均以至參考基準的距離為標示，使不同鑽針仍有相同的參考基準與斷面位置。至於系統操作時心厚量測與偏擺量量測是同步進行，量測所得之數據先透過適當的補正消除因偏擺造成的量測誤差之後，重建鑽針表面輪廓之餘。心厚之量測以最小平方圓法取得心厚值。實驗結果顯示，本研究所發展之量測系統心厚量測結果與破壞式系統相比，平均差異為3 μm，量測單一截面量測時間僅需40秒。

This research aims to develop an improved nondestructive web thickness measuring system for microdrills, to increase the inspection efficiency. The newly developed system includes automatic loading and unloading module, sectional positioning module, runout measurement and web thickness measurement module. The automatic loading and unloading module can automatically exchange the microdrills to be inspected. The sectional positioning reference datum let measurements be executed under the same reference position. Regarding the web thickness measurement method, the web thickness and the runout measruements were carried out at the same time. To rebuild the cross-section profile of the microdrill, the measured data was first corrected, to reduce the influence of rounout. The web thickness was then calculated by using the least squares circle method based on the rebuilt cross-section profile. The experimental data shows that the mean deviation of measurement result compared with the destructive type system is 3 μm, and the system can inspect a single cross-section within 40 seconds.

摘要 . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . I
ABSTRACT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . II
誌謝. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .III
目錄 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  IV
圖目錄 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  VII
表目錄 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .   X
第一章 緒論 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  1
1 	文獻回顧	.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . . 3
1.1 	機電整合.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 3
1.2 	自動化光學檢測.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  3
1.3 	微型鑽針檢測技術.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 5
2 	研究目的與方法.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .   5
3 	論文架構.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  6
第二章 微型鑽針. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1 	微型鑽針.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  7
1.1 	微型鑽針特徵.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  7
1.2 	微型鑽針製程.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  8
1.3 	微型鑽針種類.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  9
2 	心厚特徵	.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .10
2.1 	心厚特徵與影響.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .10
2.2 	心厚量測.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  11
第三章 系統介紹. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1 	上下料模組.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .14
1.1 	雙軸線性運動平台.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  15
1.2 	鑽針夾取機構 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 16
2 	鑽針夾持及定位模組.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 18
2.1 	鑽針夾持及旋轉主軸.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 18
2.2 	伺服馬達.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 19
2.3 	步進馬達.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .20
2.4	滾珠螺桿與縣性滑軌.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 21
3 	量測模組.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 22
3.1	光學測微計儀.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 23
3.2	掃描式共焦雷測測距儀.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 25
4 	軟體控制模組及電控模組.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  27
4.1	電控模組.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 28
4.2	軟體控制模組.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 29
5 	系統整合.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 32
第四章 量測系統與效能改進. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  .  . .  .  .34
1 	上下料定位.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 34
2 	鑽尖與截面定位.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 38
3 	微型鑽針偏心量量測.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 39
4 	微型鑽針表面輪廓掃描及重建.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 43
4.1	距離模式.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 43
4.2	輪廓模式.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 48
5 	心厚值計算.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 52
第五章 實驗結果. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  .  . .  .  .55
1 	標準圓棒量測結果.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 55
2 	心厚值量測及系統效能.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 58
2.1	心厚值量測.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 58
2.2	系統效率及量測方式比較.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 64
第六章 結論與未來展望. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  .  . .  .  .67
1 	結論.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 67
1 	未來展望.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . 68
參考文獻. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  .  . .  .  .69
附錄. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  .  . .  .  .69

                                

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