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研究生: 蔣文暉
Wen-hui Chaing
論文名稱: 連接器挾持力感測器設計與分析
Design and Analysis of Normal Force Sensor of Connectors
指導教授: 李維楨
Wei-chen Lee
口試委員: 趙振綱
Ching-kong Chao
周振嘉
Chen-chia Chou
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工程學院 - 機械工程系
Department of Mechanical Engineering
論文出版年: 2006
畢業學年度: 94
語文別: 中文
論文頁數: 110
中文關鍵詞: 連接器正向力微機電系統力量感測器
外文關鍵詞: connector, normal force, MEMS, force sensor
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  • 夾持力的檢測在連接器中相當的重要,連接器的夾持力需要保持在100 gf以上,訊號的傳輸才能保持穩定。傳統上連接器夾持力的檢測,需要將連接器的外殼及內部結構移除,探針才能伸入連接器內部進行連接器夾持力的量測。此破壞性檢測的方式所量測到的結果可能因為連接器結構已經被破壞,導致量測結果有所誤差。本研究利用ANSYS有限元素分析軟體,設計較佳的感測器彈性體結構,再利用微機電技術,製作微小型力量感測器。微小型力量感測器將與PCB板結合在一起,能夠不破壞連接器本身結構,直接的量測連接器的夾持力,如此所量測的結果能夠更加的準確。本研究中發現於考慮較大的量測訊號輸出時,長方形薄膜結構優於正方形薄膜結構。


    Measuring the normal force of a connector is very important. The normal force of a connector needs to be above 100 gf, so the transmission of the signal can remain stable. In general, measuring the normal force of a connector needs to remove part of the plastic housing and structure of a connector, so that the probe can be inserted into the connector to measure the normal force. Because the structure of the connector has been changed, the measurement results may be inaccurate. In the study, we use ANSYS software to design better spring element of a minature force sensor, and then fabricate it by MEMS technology. The miniature force sensor will be packaged with a PCB so that it can be employed to measure the normal force of the connector directly without destructing the structure of the connector. It is found that the effect of rectangular thin film is better than square thin film in terms of maximizing the measuring signal.

    目錄 中文摘要 I 英文摘要 II 誌 謝 III 目 錄 IV 圖 索 引 VI 表 索 引 XI 第一章 序論 1 1.1前言 1 1.2文獻回顧 9 1.3論文架構 13 第二章 主要製程技術介紹 14 2.1 微影製程介紹 14 2.1.1 光阻(Photoresistor) 15 2.1.2 微影製程的各項步驟介紹 16 2.2 二氧化矽 20 2.2.1 熱氧化法 20 2.3 蝕刻製程 22 2.3.1 濕式蝕刻 23 2.4 摻雜 30 2.4.1 離子佈植 31 第三章 壓阻式力量感測器原理 34 3.1 矽的單晶結構 36 3.2 矽的壓阻特性 37 第四章 力量感測器設計與分析 46 4.1 ANSYS介紹 46 4.2 感測器尺寸設計分析 48 4.3 壓阻設計 72 4.3.1 惠斯登電橋電路 75 4.4 感測器製作 78 第五章 實驗與製作結果 81 5.1 實驗設備與藥品 81 5.2 KOH對矽的蝕刻 82 實驗1 84 實驗1.2 86 5.3 實驗結果討論 95 第六章 結論及未來展望 104 6.1 結論 104 6.2 未來展望 106 參考文獻 107

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    無法下載圖示 全文公開日期 2011/07/26 (校內網路)
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