檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="RF磁控濺射" and ckeyword.raw="結晶度"
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本論文利用射頻電漿濺鍍沉積氧化鋅鋁(AZO)薄膜於自組裝單分子層薄膜(self-assembled monolayer, SAM)修飾後的玻璃基板,一般而言,低溫製程環境下所沉積出來的AZO薄膜不具…