檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="QCM" and ckeyword.raw="二氧化銥"
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本論文主要利用化學氣相沉積(MOCVD)方式,在鍍於石英晶片上之金電極表面沉積二氧化銥,以此製作QCM質量式感測器,針對酸類及胺類氣體進行感測,發現有不錯的感測靈敏度,其偵測濃度可達數個ppm。 …