檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="廢棄粒子排放" and ckeyword.raw="氣體噴注器"
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本研究探討渦流產生器應用於3吋垂直式的半導體廢氣排放管路,藉由CFD軟體Fluent執行流場模擬,將計算結果製作圖表以便觀察其流場缺失;並依動態光散射儀(Dynamic Light Scatteri…