檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米銅製程" and ckeyword.raw="奈米銅製程"
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半導體積體電路的製造過程是歷經數百個製程步驟,而且涵蓋了物理、化學、熱力學、動力學、機械…等複雜領域交互配合而成。在製造過程中,難免會產生缺陷(defect),有些缺陷並不容易用傳統的測試方法發現,…