檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="二氧化矽" and ckeyword.raw="表面出光"
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本論文利用乾式蝕刻與氧化物製作新型脊狀載子侷限結構並應用於研發氮化鎵垂直共振腔面射型光源。目前最常使用之侷限結構為氧化物侷限,而常用的方式多為蒸鍍或濺鍍氧化物於晶圓上來製作載子侷限結構。本論文分別製…