檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="晶圓檢測發展" and ckeyword.raw="碳化矽晶圓" and ckeyword.raw="碳化矽晶圓"
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碳化矽是製造高功率半導體元件之重要的寬能隙(WBG)半導體材料,然而在晶圓的製造與加工過程當中,容易使晶圓產生缺陷進而影響製成元件之性能,對於碳化矽或矽晶圓質量有負面的影響,因此需要晶圓檢測找出並定…