檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米壓痕" and ckeyword.raw="微影製程" and ckeyword.raw="氣體感測"
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摘 要 科技的進步,對環境的汙染日趨嚴重,於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞;而在日常生活中,每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生,因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外,…