檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="無光罩微影系統" and ckeyword.raw="非接觸浸潤式"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
光學加工已經是目前科技中相當重要的一環,其中光微影製程為最重要的積體電路或微機電元件生產技術,由於元件開發往「輕、薄、短、小、低成本」的趨勢進行製程的開發;在微影製程中,傳統的方式已經無法再將尺寸縮…