檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="鈍化層厚度"
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薄膜因具有結構微型化及與傳統塊材相異且特殊的物理及化學性質,因而被廣泛地應用於半導體、光機電工程等領域上,但是,薄膜材料當中的殘留應力會顯著的影響其材料性能,而在薄膜生長的製程及晶圓製造中針對表面加…