檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="磨料加工"
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國際原油價格不斷高漲,替代性能源的研發愈顯重要,而太陽能為目前替代能源之研發重點項目之ㄧ,其主要之材料即為矽晶圓基板,目前生產矽晶圓基板之主要技術為多線式線鋸切割技術(multi-wire sawi…
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在半導體元件製程應用上,化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)為其重要製程之一,它透過研磨墊、漿粒、晶圓三者間彼此交互作用,使晶圓達到平坦化之效果以利後…