檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="阻障層"
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本論文主要是探討以射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputterig)之方式所沉積之TiNx阻障層抵抗銅原子擴散的能力。主要是以射頻磁控濺鍍法沉積不同氮含量之TiNx薄膜,進行晶粒大小、結晶…
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一般於微電子封裝中,人們會加入一層阻障層來抑制錫鬚的生長,這錫鬚之生成會導致電子器件之短路及失效,故這層阻障層可以防止銅錫之間反應進而產生介金屬化合物,而此銅錫介金屬化合物為錫鬚生長的主要驅動力之一…