檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林榮慶" and ckeyword.raw="近場微影點加工" and ckeyword.raw="近場微影點加工"
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本研究的目的在於探討光阻層上蒸鍍一層金屬層之近場光學微影點加工的技術,藉由光學模擬分析金屬層之特性,並且以定性分析來證明此技術能有效地縮小光阻層上得記號寬度與半高寬。 此技術是將一層薄薄(約…