檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="研光" and ckeyword.raw="藍寶石晶圓"
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因應單晶藍寶石基板於固態照明(solid-state illumination)產業之大量需求,為提高藍寶石晶圓生產效率與加工品質,完善的晶圓平坦化製程建立有其必要性,而晶圓研光製程(Lapping…