檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="過氧化氫感測器" and ckeyword.raw="類鑽碳薄膜"
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本研究利用反應式濺鍍沉積摻鈷類鑽碳(Co-DLC) 薄膜,並將Co-DLC薄膜在350℃進行大氣退火30-90分鐘,得到Co、CoO、Co3O4和DLC組成之CoOx-DLC薄膜,藉由SEM、RAM…