檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="物理氣相沉積" and ckeyword.raw="金屬玻璃薄膜"
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鎢基金屬玻璃薄膜(TFMG)是近年來一種新穎的金屬玻璃材料,它同時具有高硬度和高模量,通常會將它應用於增強各種薄膜硬度上。在本實驗中我們透過幾種不同的沉積方法和薄膜的改質,例如:單靶材沉積、雙靶材共…