檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="散熱" and ckeyword.raw="矽基板蝕刻凹槽"
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本論文研究主要針對實驗室已開發之奈米碳管整合於矽散熱基板結構做近一步的熱模擬分析及製程步驟之優化改良,並提出利用高熱傳導之陶瓷材料碳化矽(SiC)及離子佈植氬原子的方式,來取代原先基板介電層採用之低…