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    基於粒子群多目標最佳化演算法實現光罩光源同步最佳化
    • 自動化及控制研究所 /105/ 碩士
    • 研究生： Zendhiastara Arthananda Yudhi   指導教授： 郭鴻飛
    • 本論文將粒子群多目標最佳化（MOPSO）演算法整合到光源和光罩同步優化（SMO）過程中，以增強極紫外（EUV）光刻成像的性能。本研究開發了同步處理光源和光罩圖案的方法。對於自由形式的光源結構基於像素…
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