本論文使用分子動力學(Molecular Dynamicx, MD)模擬鑽石方柱衝頭對銀薄膜內含有雜質缺陷，以及雙晶粒銀薄膜試片進行奈米轉印分析。探討轉印製程的塑性變形機制、成型孔形貌與底部回復現象…

Bottom-up Additive Manufacturing (AM) have been widely used in industry. Compared to traditional AM…

本論文使用分子動力學模擬鑽石衝頭對單晶銅的奈米壓印。並且改變不同的壓印晶面、材料厚度、壓印速度，探討其塑性變形機制與差排滑動行為。所使用的模型在X、Y面使用週期性邊界，銅使用嵌入式(EAM)勢能函數…

光學尺可分為穿透型與反射型兩種型式。編碼器使用發光二極體(LED)作為光源，並使用光偵測器收集訊號，將刻有光柵的線性光學尺置於LED與偵測器之間，當線性光學尺移動時，偵測器可以讀到光強訊號，輸出弦波…

本論文針對複合功能轉印設備開發為主軸，並研究其熱壓轉印、紫外光固化轉印、氣體輔助轉印等製程。所開發之複合功能轉印設備提供一個穩定、高精度、大面積微奈米結構轉印之平台。 熱壓轉印製程中，藉由保壓模具之…

氮化鎵材料生長在藍寶石基板難以劈裂，本論文研究以非劈裂式方法製作邊射型雷射共振腔反射面，用黃光微影與乾式蝕刻定義出共振腔的區域，並以奈米壓印微影技術取代電子束微影技術製作氮化鎵分佈回饋式雷射的光柵結…

有鑑於目前市售光學尺之製作方法是以曝光顯影或雷射直寫進行生產，但考慮到高精度曝光顯影光罩及裝置價格昂貴，且不適合製作長行程及反射式光學尺，而雷射直寫刻劃光柵結構的速度較慢，無法快速生產等因素，本研究…

飛秒雷射具有超短脈衝及光能量密度極高的特性，別於一般長脈衝雷射以光熱加工，飛秒雷射以光化學剝離機制加工，光子能量直接打斷材料鍵結，造成材料電漿離子化而移除；此特性使飛秒雷射具有加工熱影響區小、加工尺…

熱壓式奈米壓印微影技術僅需先使用電子束微影技術製作出所需要的模具，即可以快速且重複使用製作出奈米等級的結構，如此一來，可以省去傳統技術用來製作光柵所花費的較長時間與昂貴的設備成本。 本論文以熱壓式奈…

金屬玻璃材料具有高強度、低表面能及優良的玻璃模造特性，因此被認為可用來複製各種微奈米應用所需的成形模具。本實驗目標以微奈米轉印技術配合金屬玻璃材料之應用，製作具毫米及微米、奈米複合結構的金屬玻璃模具…