檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "microelectromechanical system".ekeyword (精準)
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光譜儀因為其需要精密光學元件組裝及繁瑣的校正程序造成市面上的光譜儀器仍然具有價格昂貴、體積龐大等缺點。晶片型光譜晶片結構包含光學接收狹縫、凹面光柵、高反射率膜鏡面,製作好的硬體設備經過校正系統後,才…
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微機電系統(microelectromechanical system, MEMS) 技術範圍涵蓋甚廣,早期多應用於車用電子,近年則因消費性電子的興起與生醫領域的應用而蓬勃發展,本研究選定微機電技術…