檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "interdigital transducer".ekeyword (精準)
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本研究主要目的是利用指叉狀電極作為電化學葡萄糖生物感測器。感測器的電極製作是利用半導體元件中微影製程技術,並以光阻舉離(lift off)程序,製備間距為7 m的指叉狀電極。電極材料的選擇方面,由…
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本研究利用半導體黃光微影技術,以石英為基材,製作壓電式IDA微金電極,IDA微金電極之線寬與長度分別為7.894 μm與2245.3 μm。本論文研究分成三部分:(1) 以二氧化矽保護層與四氟化碳 …