檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Wun-Chang Ye".ecommittee (精準)
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本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜，同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化，並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統，成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池，分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料，成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜，並探討其光電性質。 在成長…