檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Temperature visualization".ekeyword (精準)
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在現今半導體晶片製程中,為達到更小的元件關鍵尺寸(Critical Dimension, CD),化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)逐漸成…
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本研究建構一套化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization, CMP)之流場可視化(Flow Visualization, FV)與溫度場可視化(Tempera…