簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Temperature Sensitive Paint (TSP)".ekeyword (精準)


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    以溫度可視化方法探討化學機械拋光製程中晶圓溫度分布
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生： 葉子毓   指導教授： 田維欣
    • 在現今半導體晶片製程中，為達到更小的元件關鍵尺寸(Critical Dimension, CD)，化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)逐漸成…
    • 點閱：313  下載：1 
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

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    以流場與溫度場可視化方法探討化學機械平坦化製程中晶圓溫度分布與製程表現之關係
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生： 許翔閎   指導教授： 田維欣
    • 本研究建構一套化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization, CMP)之流場可視化(Flow Visualization, FV)與溫度場可視化(Tempera…
    • 點閱：286  下載：3 
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