檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "Resolution enhancement technology".ekeyword (精準)
個人化服務 ：
排序：
每頁筆數：
已勾選0筆資料
1
由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難，無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產，因此吸引許多研究者尋找改善方案，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
2
在各國因應物聯網、大數據、高效能運算等的市場開發，仰賴大量DRAM 元件所需要大量計算及記憶體空間，隨著對DRAM 的需求增加和引入升級產品的需求，DRAM 市場將在未來幾年見證增長，全球市場競爭激…
3
近年對於晶片的需求大幅增長，而其電路設計圖案依賴於微影技術將其轉印至矽基板上，並且隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮、單位面積下所容納的電路圖案增多以及晶片尺寸增大的趨勢…