檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "Nanoimprint Lithography".ekeyword (精準)
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本論文針對複合功能轉印設備開發為主軸，並研究其熱壓轉印、紫外光固化轉印、氣體輔助轉印等製程。所開發之複合功能轉印設備提供一個穩定、高精度、大面積微奈米結構轉印之平台。 熱壓轉印製程中，藉由保壓模具之…
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氮化鎵材料生長在藍寶石基板難以劈裂，本論文研究以非劈裂式方法製作邊射型雷射共振腔反射面，用黃光微影與乾式蝕刻定義出共振腔的區域，並以奈米壓印微影技術取代電子束微影技術製作氮化鎵分佈回饋式雷射的光柵結…
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熱壓式奈米壓印微影技術僅需先使用電子束微影技術製作出所需要的模具，即可以快速且重複使用製作出奈米等級的結構，如此一來，可以省去傳統技術用來製作光柵所花費的較長時間與昂貴的設備成本。 本論文以熱壓式奈…
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ㄧ維(1D)的過渡金屬氧化奈米結構藉由自我催化組成的方式製備，受到了廣泛的研究。奈米線具高的深寬比結構，大的表面體積比與獨特的物理性質，包含光學、磁學與電學特性。氧化鎢(W18O49)為一N型的寬能…
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在技術研發初期能有效分析該特定領域的專利，歸納出可能的研發路徑，並且了解到競爭對手的專利佈局策略及技術發展，對於研發計畫的擬定是極為重要的。本文將分析研究專利技術路徑，並以奈米轉印技術為主題進行整體…