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本論文主要是探討在不同結構上成長奈微米鑽石之場發射特性之影響。本研究中係使用微波電漿化學氣相沉積系統將奈微米鑽石沉積於平面矽、金字塔及矽奈米線/金字塔結構,藉由場發射電子顯微鏡觀察鑽石的表面形態,並…
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在本論文中,我們研究使用微波輔助化學氣相沉積系統來成長奈米鑽石薄膜於矽及鈮酸鋰基板上,藉由控制溫度、氣體組成及成長壓力,我們可得到表面平坦且品質良好的鑽石薄膜。 鈮酸鋰有很高的機電耦合係數,和奈米鑽…