檢索結果：共40筆資料 檢索策略： "Hung-Lin Hsieh".eadvisor (精準)
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本研究提出一套創新的四自由度共路徑式線性光學尺，具備同時量測面內或面外的位移及旋轉角量測能力。此套線性光學尺結合干涉術、光柵干涉術、分光技術及共路徑式光路等技術優勢進行系統開發，具備高靈敏度、高穩定…
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本研究提出一套創新的弦波調制雙繞射光柵干涉儀，用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀是以弦波訊號來針對WP雙折射晶體進行訊號調制，達到外差訊號調制的目的，進而降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響…
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本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀，用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發，同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢，使系…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術，其系統架構簡單，架設與校正容易，可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心，輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套多自由度複合式散斑干涉儀，用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差干涉術和散斑干涉術之優點，並透過分光技術建立一套可以進行精密位移及旋轉角量測的架構，同時具備高解析度、非接…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺，用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發，使系統具…
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本研究提出一套創新的六自由度外差式散斑干涉儀，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套外差式散斑干涉儀系統結合外差干涉術、散斑干涉術、對稱式光路和分光技術等技術之優勢，具備高解析度、大量測範圍及六自由度…
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」，用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念，結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統，用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…