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    二氧化碳雷射處理鋯鈦酸鉛鐵電厚膜於不同基材之電性研究
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生： 蔡昇達   指導教授： 周振嘉
    • 本研究利用改良式溶膠-凝膠(Sol-gel)法製備鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電厚膜，使用CO2低溫雷射退火製程，因雷射能量密度高，能快速將PZT 厚膜從非晶相結構轉換成具鐵電特性之鈣鈦礦結構。研究首先製備…
    • 點閱：217  下載：3 

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    CO2雷射低溫熱處理鋯鈦酸鉛鐵電薄膜於不同基材之電性研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 劉柏亨   指導教授： 周振嘉
    • 本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板，搭配CO2低溫雷射退火製程，以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題，使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…
    • 點閱：328  下載：1 
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