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本論文主要探討平面光波導電路(Planar Light Circuit)半導體雷射耦合問題，目前半導體雷射耦合一般需要人工對位，成本高、費時、誤差率高。如果能使耦合組裝的結構能利用機械上對位或是能在…
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在此篇論文中，利用擴散限制蝕刻技術，來蝕刻出垂直漸變式波導。我們以變化各種不同的間隙寬度以及遮罩寬度，可以得到不同的蝕刻速率，因此最後固定間隙寬度在20 μm，變化其遮罩寬度，可以得到線性，且最大相…
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雷射光束加工(LBM)是一種廣泛使用的非接觸式先進加工技術，適用於多款材料，主要應用於切割或鑽孔加工。在雷射加工製程中，雷射光斑的光束輪廓形狀對加工品質有著深遠影響。本論文研究主要由微光機電系統(M…