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本論文主要是探討感光性材料之硬化機制並提出新的概念與方法於單層材料上製作3D微小元件。 在製程中是利用面成型加工技術,依感光性材料對不同波長有著不一樣的光敏感度之特性與自行設計鏡組來搭配平台以改變光…
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本論文的研究方向是將無光罩微影技術結合積層製造之光成型加工技術,選用下照式成型系統,設計出能製作大面積微結構的曝光機。相較以往的顯微鏡微影系統,本系統單次曝光面積大,能製作出的微結構數量更多,配合高…