檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "Chun-ching Hsiao".ecommittee (精準)
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生，而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度，且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化，進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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熱電薄膜發電器乃利用熱電效應，將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程，利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源，經由Agilent 34970A資料蒐集交…
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焦電薄膜感測器乃利用焦電效應，將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標，其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質，而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…
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鋯鈦酸鉛(PZT)焦電薄膜感測器利用焦電效應，將溫度變化轉成焦電訊號。焦電感測器之焦電響應成為感測器優劣之重要指標，而影響焦電響應因素有吸收層厚度與材質、焦電層薄膜品質、隔熱層材質與厚度、基材種類與…
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本研究旨在利用鐵電材料直接將熱能轉化為電能，透過數值分析、結構設計和外部施加電場來提高鐵電材料的電感應和材料能量轉換效率。鐵電材料是屬於焦電材料的一個子類，其特殊焦電效應能夠將時間相關的溫度直接轉換…