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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "CO2雷射退火".ckeyword (精準)


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    CO2雷射低溫熱處理鋯鈦酸鉛鐵電薄膜於不同基材之電性研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 劉柏亨   指導教授： 周振嘉
    • 本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板，搭配CO2低溫雷射退火製程，以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題，使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…
    • 點閱：328  下載：1 

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    以二氧化碳雷射改善PZT薄膜於焦電感測器之應用
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 楊雅芬   指導教授： 趙振綱
    • 鋯鈦酸鉛(PZT)焦電薄膜感測器利用焦電效應，將溫度變化轉成焦電訊號。焦電感測器之焦電響應成為感測器優劣之重要指標，而影響焦電響應因素有吸收層厚度與材質、焦電層薄膜品質、隔熱層材質與厚度、基材種類與…
    • 點閱：330  下載：2 

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    CO2雷射低溫熱處理鋯鈦酸鉛鐵電薄膜於不鏽鋼基板之電性研究
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生： 賴科亨   指導教授： 周振嘉
    • 本研究利用CO2低溫雷射退火製程，將鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電薄膜與錳酸鍶鑭(LSMO)氧化物電極鍍製於316型不鏽鋼線與薄板基板上，以改善傳統爐內退火常導致線狀或薄板型鐵電元件產生界面擴散與氧化等問題…
    • 點閱：274  下載：0 
    • 全文公開日期 2010/07/24 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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