檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "CO2 laser annealing".ekeyword (精準)
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本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板,搭配CO2低溫雷射退火製程,以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題,使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…
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鋯鈦酸鉛(PZT)焦電薄膜感測器利用焦電效應,將溫度變化轉成焦電訊號。焦電感測器之焦電響應成為感測器優劣之重要指標,而影響焦電響應因素有吸收層厚度與材質、焦電層薄膜品質、隔熱層材質與厚度、基材種類與…