檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "電漿後處理".ckeyword (精準)
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本論文主要是利用熱化學氣相沉積法成長二氧化矽奈米線，利用XeF準分子雷射系統對二氧化矽奈米線進行不同雷射能量之前處理與後處理，使用電子顯微鏡、富利葉轉換紅外線光譜儀及X射線光電子能譜儀光譜分析其特性…
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本研究分為兩個部分，第一部份探討石墨烯堆疊不同層數於矽奈米線基板結構之氨氣感測器，並進行物性和電性分析；第二部份探討雙層石墨烯/PSG-SiNWs/RTA複合奈米結構之氨氣感測器，並進行物性和電性分…
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本論文分為二部分，第一部分探討石墨烯堆疊不同層數於氮化矽基板結構之氨氣感測器，並進行物性及電性之分析；第二部分探討二硫化銅銦量子點-石墨烯複合奈米結構之氨氣感測器，並進行物性及電性之分析。 本研究…