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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "陳昭宏".ccommittee (精準)


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    同調傅立葉散射儀應用徑向基函數網路重建線寬
    • 自動化及控制研究所 /104/ 碩士
    • 研究生： Faisal   指導教授： 郭鴻飛
    • 本研究主要為將徑向基函數網路(radial basis function networks, RBFN)應用於同調傅立葉散射儀(coherent Fourier scatterometry, CFS…
    • 點閱：859  下載：22 

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    應用於半導體先進封裝製程之數位微影潛像品質分析
    • 自動化及控制研究所 /107/ 碩士
    • 研究生： 萬道聲   指導教授： 郭鴻飛
    • 在半導體製程中，先進封裝(Advanced Package, AP)被視為持續摩爾定律的辦法之一，使用不同功能之晶片將其進行堆疊，並使用先進封裝可以得到較小的元件尺寸，本文將研究探討數位微影曝光系統…
    • 點閱：267  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    結合蟻群演算法與神經網路演算法所優化之光源模態以強化微影成像效能
    • 自動化及控制研究所 /105/ 博士
    • 研究生： 李國華   指導教授： 郭鴻飛
    • 幾十年來半導體工業仰賴微影光學將電路圖案之設計轉印至晶圓基板上，隨著電路設計圖樣日益縮小，目前已逼近至微影製程的光學極限，解析度增強技術(resolution enhancement techniq…
    • 點閱：1224  下載：14 
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