檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "陳孝輝".ccommittee (精準)
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本研究建立非傳輸型井式陰極直流水蒸氣電漿火炬內部反應流場數學模型與數值分析方法。本研究基於二維軸對稱、電漿為電中性、電漿具光學扁薄性以及穩態紊流場條件，以有限體積法聯立求解連續方程式組、電流連續方程…
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本研究建立以氬電漿餘輝態進行矽薄膜沉積之反應機制，並進行三維沉積反應模擬，工作氣體為矽烷及氫氣，同時計算低壓腔體內之矽薄膜成長速率。本研究共考慮19種重要物種，包含電子、質子、自由基氣體、中性氣體等…
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本研究在假設二維軸對稱及穩態的條件下進行非傳輸型井式陰極直流空氣電漿火炬流場模擬分析，利用有限體積法聯立求解連續方程式、電流連續方程式、動量方程式、能量方程式與紊流模型，流場內的電流分布利用安培定律…