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    1

    金鈹及金鈹/砷化鎵之結晶結構研究
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 王漢聰 指導教授: 鄭偉鈞
    • 本實驗採熱蒸鍍法依序蒸鍍金(Au)、金鈹合金(AuBe)及金的薄膜於玻璃(SiO2)及砷化鎵(GaAs)基材上,再利用傳統管狀爐進行熱處理,以研究金屬層的結晶結構。 Au(Be)/SiO2之試片於X…
    • 點閱:131下載:7

    2

    金(鈹)/矽(100)晶片的界面微結構研究
    • 材料科學與工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 陳延壽 指導教授: 鄭偉鈞
    • 本實驗採熱蒸鍍法依序蒸鍍金鈹合金及金於矽(100)基材上,再利用傳統管狀爐及快速升降溫爐進行熱處理,以研究金/矽界面處的相結構與組成。 由XRD分析結果發現,我們得知在剛沉積及330℃合金化熱處理時…
    • 點閱:157下載:1

    3

    金(鈹)/氮化鎵晶片薄膜結構的研究
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 張民撰 指導教授: 鄭偉鈞
    • 本論文是以藍光二極體氮化鎵(GaN)晶片為基材,以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au於氮化鎵晶片後,再利用快速升溫爐與傳統管狀爐兩種不同之加熱方式,進行試片之合金化熱處理。 當試片經過快速升溫熱處…
    • 點閱:169下載:0
    • 全文公開日期 2012/07/25 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    4

    金(鈹)/磷砷化鎵(100)晶片的薄膜結構研究
    • 材料科學與工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 謝武霖 指導教授: 鄭偉鈞
    • 本實驗是以磷砷化鎵(GaAsP)晶片為基材,以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au的薄膜於磷砷化鎵晶片後,再利用傳統管狀爐之加熱,進行試片之歐姆接觸合金化熱處理。本論文研究Au(Be)/GaAsP的…
    • 點閱:159下載:8

    5

    金(鈹)/砷化鎵(100)晶片的薄膜結構研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 瞿旻德 指導教授: 鄭偉鈞
    • 本實驗以適用於紅外線二極體的砷化鎵(GaAs)晶片為基材,以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au的薄膜於砷化鎵晶片後,再利用快速升降溫爐(RTA)或傳統管狀爐兩種不同之加熱方式,進行試片之歐姆接觸合…
    • 點閱:214下載:9
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