檢索結果:共8筆資料 檢索策略: "邱正杰".ccommittee (精準)
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統製作非晶矽薄膜太陽電池。實驗結果顯示當[TMB]/[SiH4]=3時成長的p+層在電池應用獲得Jsc=16.81 mV/cm2、Voc=854 mV、F.…
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本論文的主題分為四部分:(1)利用三甲基鎵(trimethylgallium,TMG)/氨氣(NH3)為反應先驅物以原子層磊晶法(ALE)合成氮化鎵(GaN)並對其成長行為做一整體性探討;(2)探討…
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作為新一代矽薄膜太陽電池元件製作使用的透明導電氧化物(TCO)玻璃除了在透光率及導電性上有一定的需求外,對於光散射特性的提升特別是對近紅外光的有效散射能力為未來疊層型電池製作時不可或缺的要件。本論文…
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本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…
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本論文的長膜實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲苯(C7F8)為原料先驅物,藉由傳統平板式電漿輔助化學氣相沉積系統來成長低介…
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本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法,探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先,單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下,會成長出以碳化鋁(…
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本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料,並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材,…
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The Ga doped-ZnO (GZO) thin film has been demonstrated to have low resistivity and high transparenc…