檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "超高真空".ckeyword (精準)
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本論文是設置一個配備有質譜儀的超高真空系統, 利用TPR 方法(Temperature Progr-ammed Reaction)研究六氟化鎢在復晶鎢上脫附情形及反應機構。 由我們的系統所做得的H…
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摘要 關鍵詞：奈米結構、鍺量子點、超高真空、選擇性化學氣相沉積、超薄氧化層 本論文乃以鍺甲烷作為原料氣體的超高真空化學氣相沉積法，探討在Si(100)與SiO2/Si(100)基材上以選擇…
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本論文藉一自行裝配之超高真空系統，利用程溫脫附的實驗技巧來研究氟化氫在多晶鎢表面的行為。 首先以氫氣在多晶鎢表面的程溫脫附實驗結果來證明此一系統的正確性。所得圖譜可以觀察到三類不同尖峰群，分別為α…
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本論文使用兩個連續程序，在配備即場式X射線光電子能譜儀（XPS）和反射式高能電子衍射儀（RHEED）的超高真空化學氣相沉積（UHV-CVD）系統中，進行矽晶片（Si(111)）的表面碳化和 SiC …
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本研究主要為設計、組裝、測試真空製程及分析系統。此系統分為三部分，其一為前置樣品傳送腔體(Load-lock chamber)，可快速傳送樣品進入其他腔體；其二為製程腔體，包含電子蒸鍍槍(Elect…