檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "翁得期".ccommittee (精準)
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以設計出非晶…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統,成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池,分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料,成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜,並探討其光電性質。 在成長…
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本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜,同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化,並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…