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    渦流產生器應用於半導體製程管路系統之廢氣排除模擬分析
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 楊舜丞 指導教授: 林顯群
    • 本研究探討渦流產生器應用於3吋垂直式的半導體廢氣排放管路,藉由CFD軟體Fluent執行流場模擬,將計算結果製作圖表以便觀察其流場缺失;並依動態光散射儀(Dynamic Light Scatteri…
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    • 全文公開日期 2025/02/07 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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